demagnifying electron-beam projection lithography
- demagnifying electron-beam projection lithography
- mažinamoji elektronpluoštė projekcinė litografija
statusas T sritis radioelektronika
atitikmenys: angl. demagnifying electron-beam projection lithography
vok. Projektion durch Elektronenbestrahlung mit Abbildungsverkleinerung, f
rus. электронно-лучевая проекционная литография с уменьшением, f
pranc. lithographie de projection par faisceau d'électrons à diminution d'image, f
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“.
Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas.
2000.
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